特許

J-GLOBAL ID：201103044854964080

減圧槽

発明者： 内野 正英
出願人/特許権者： ジャパン・フィールド株式会社
代理人 (1件)： 清水 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-111408
特許番号：特許第3015026号
出願日： 1999年04月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 気密性を保持した気密槽と、この気密槽の内部に装着し、減圧時に気密槽の内面と接触して気密槽を支持可能とするとともに気密槽とは分離可能とした耐圧力性の支持骨格とから成る事を特徴とする減圧槽。

IPC (2件)：

B01J 3/00 ,  H01L 21/304 651

FI (2件)：

B01J 3/00 K ,  H01L 21/304 651 K