特許
J-GLOBAL ID：201103045134490966

アライメント調整方法、アライメント調整装置、及びアライメント調整装置を備えたレーザー加工装置

発明者：
杉森 正

杉森 正 について

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寺 信行

寺 信行 について

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野口 篤志

野口 篤志 について


出願人/特許権者：
株式会社スギノマシン

株式会社スギノマシン について


代理人 (8件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  渡邊 誠 ,  鈴木 博子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-111187
公開番号（公開出願番号）：特開2011-235347
出願日： 2010年05月13日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：
【課題】レーザー加工装置において、レーザーの焦点を液体噴流の軸線に対して高精度に且つ容易に位置合わせすることができるアライメント調整装置を提供する。【解決手段】アライメント調整装置10は、ジェットノズル20と光ファイバ22を相対的に移動させる相対移動機構34と、ジェットノズル20の入口開口部20aの画像Qおよびレーザーの像の画像Rを撮影する撮像手段37と、画像Q,Rに基づいて相対移動機構34を制御するアライメント制御手段と、を有し、アライメント制御手段は、a)画像Qに基づいて、入口開口部20aの中心を求めるステップと、b)画像Rに基づいて、レーザーの像の中心を求めるステップと、c)レーザーの像の中心が入口開口部20aの中心に一致するように、相対移動機構34を駆動して光ファイバ22をジェットノズル20に対して移動させるステップと、を実行するように構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体を噴射して液柱を形成するジェットノズルと、上記液柱内にレーザー光源からのレーザーを集光させるレーザー光学系とを有し、液柱内に導かれたレーザーにより被加工物を加工するレーザー加工装置に使用され、上記レーザーの焦点を位置合わせするアライメント調整装置であって、 上記レーザーの焦点を上記ジェットノズルの入口開口部の中心に対して位置合わせできるように、上記ジェットノズルと上記レーザーの焦点を相対的に移動させる相対移動機構と、 上記ジェットノズルの入口開口部の画像および上記入口開口部付近に照射された微弱なレーザーの像の画像を撮影する撮像手段と、 上記撮像手段によって撮像された上記ジェットノズルの入口開口部および上記レーザーの像の画像に基づいて上記相対移動機構を制御して、上記レーザーの焦点を上記ジェットノズルの入口開口部の中心に移動させるアライメント制御手段と、を有し、 上記アライメント制御手段は、 a)上記ジェットノズルの入口開口部の画像に基づいて、上記入口開口部の中心を求めるステップと、 b)上記ジェットノズルの入口開口部付近に照射されたレーザーの像の画像に基づいて、上記レーザーの像の中心を求めるステップと、 c)上記レーザーの像の中心が上記入口開口部の中心に一致するように、上記相対移動機構を駆動して上記ジェットノズルと上記レーザーの焦点とを相対的に移動させるステップと、 を実行するように構成されている、 ことを特徴とするアライメント調整装置。
IPC (4件)：
B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/14 ,  B23K 26/08
FI (4件)：
B23K26/04 A ,  B23K26/00 M ,  B23K26/14 Z ,  B23K26/08 K
Fターム (5件)：
4E068CA06 ,  4E068CC02 ,  4E068CE08 ,  4E068CH08 ,  4E068CJ07
引用特許：
審査官引用 (4件)
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