特許
J-GLOBAL ID：201103045253749420
電子顕微鏡および試料ステージ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130947
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323079
特許番号：特許第3721850号
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】真空チャンバに内蔵される試料ステージであって、 試料を載置する試料保持機構と、 該試料保持機構を二次元的に移動させるXY移動機構と、 該試料保持機構およびXY移動機構を傾斜させる傾斜機構と、 該試料保持機構、XY移動機構および傾斜機構を上下に移動するZ移動機構を有し、 前記傾斜機構は、傾斜のための傾斜中心軸をなす傾斜軸部材を有し、 該傾斜軸部材の両軸端面と前記真空チャンバの対向する両側壁とがそれぞれ滑り接触していることを特徴とする試料ステージ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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