特許
J-GLOBAL ID：201103045448105501
液体気化システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-003760
公開番号（公開出願番号）：特開2011-097088
出願日： 2011年01月12日
公開日（公表日）： 2011年05月12日
要約：
【課題】液体材料の残留の問題を解消しつつ、液体材料の気化の促進を図ることができる液体気化システムを提供する。【解決手段】液体気化システム10には、液体気化装置20が設けられている。本装置20は、ポンプ11と、気化器12とを備えている。気化器12は、ケース21と、ケース21の内部に設けられたヒータと、ヒータにより加熱される蓄熱板23と、蓄熱板23上に設けられたメッシュ24とを備えている。メッシュ24は、線材24aが編み込まれることにより形成され、全体としては平板状をなしている。蓄熱板23の上面にメッシュ24が重ねられることで蓄熱板23上にはメッシュ24により微細な凹凸が設けられている。メッシュ24の上方にはノズル27が設けられ、ノズル27から液体材料が蓄熱板23(メッシュ24)上に滴下される。液体材料は蓄熱板23上を薄膜状に拡がり蓄熱板23の上面で加熱され気化される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
液体材料を加熱して気化させる気化器を備えた液体気化システムであって、
前記気化器は、略平坦に形成され液体材料を付着させる液体付着面と、
前記液体付着面に付着した液体材料を薄膜化させる薄膜化手段と、
前記液体付着面を加熱する加熱手段と、
を備えることを特徴とする液体気化システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4F033QA01
, 4F033QB02Y
, 4F033QB03X
, 4F033QB13Y
, 4F033QB18
, 4F033QD02
, 4F033QD11
, 4F033QE01
, 5F045EE02
, 5F045EE04
, 5F045EE17
, 5F046HA02
