チタン製磁気ディスク基板の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外2名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-094391
公開番号（公開出願番号）：特開平2-273321
出願日： 1989年04月14日
公開日（公表日）： 1990年11月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】表面性状がRaで表わして0.05μm以下のチタン製基体の表面上に、周期表第IVA族、第VA族、第VIA族、第VIIA族、及び第VIIIA族元素のいずれかに属する非磁性遷移金属元素の薄膜を0.5μm以上10μm以下の膜厚で形成し、その後表面をポリッシングすることを特徴とするチタン製ディスク基板の製造方法。

IPC (1件)：