基板載置方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土井育郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-346026
公開番号（公開出願番号）：特開2003-145466
特許番号：特許第3963347号
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】開閉可能な相対する爪を直交する2方向に具備したキャッチャーを回動自在なアームの先端に有するロボットを使用し、キャッチャーの爪により基板を把持した状態で載置板の上まで搬送した後、爪を開いて基板を載置板の上に載置する方法において、爪が載置板に接触するまでキャッチャーを下降させた後、少なくとも1方向の爪は基板が引っ掛からずに落下するとともに落下後に大きく移動しないような微小な許容範囲で開くようにして全体の爪を開くことにより基板を載置板の上に落下させ、基板が載置板上に落下した後、5秒程度のインターバルを置いてから、キャッチャーを上昇させることを特徴とする基板載置方法。

IPC (3件)：