圧電材料の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：栗原浩之 , 村中克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-114762
公開番号（公開出願番号）：特開2011-211140
出願日： 2010年05月18日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：

【課題】耐久性に優れ且つ環境への負荷が小さい圧電体層を製造することができる圧電材料の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルの金属酸化物又は金属炭酸塩の粉末を混合して仮焼成することによりナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有する複合酸化物を形成する工程と、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有する複合酸化物にマンガン及びビスマスを含有する金属酸化物又は金属炭酸塩を添加して混合した後焼結することにより、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物及びマンガン酸ビスマスを含む固溶体からなる圧電材料を形成する工程を有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルの金属酸化物又は金属炭酸塩の粉末を混合して仮焼成することによりナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有する複合酸化物を形成する工程と、前記ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有する複合酸化物にマンガン及びビスマスを含有する金属酸化物又は金属炭酸塩を添加して混合した後焼結することにより、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ及びタンタルを含有するペロブスカイト型酸化物及びマンガン酸ビスマスを含む固溶体からなる圧電材料を形成する工程を有することを特徴とする圧電材料の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 41/187 , B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/22

FI (4件)：

H01L41/18 101J , B41J3/04 103H , B41J3/04 103A , H01L41/22 Z

Fターム (3件)：

2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AP14

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