厚み測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：嶋宣之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-029047
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221624
特許番号：特許第3359316号
出願日： 2000年02月07日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】板状の測定対象をセットする保持部と、測定対象の両面側に位置し、測定対象の両面に流体を噴射する一対の噴射ノズルと、この噴射ノズルを移動させるノズル移動手段と、噴射ノズルの位置を検出するノズル位置検出手段と、噴射ノズルの背圧検出手段と、上記ノズル移動手段を制御するとともに上記ノズル位置検出手段および背圧検出手段からの検出データに基づいて演算を行うデータ処理部とを備え、このデータ処理部は、予め基準サンプルを用いて設定した噴射ノズルの基準位置とその位置に対応した基準背圧値とを記憶し、上記基準背圧値に対応する基準サンプル表面までの基準距離を特定し、測定対象に対して上記基準背圧値となる噴射ノズル位置を検出して、この噴射ノズル位置データと、上記基準距離とに基づいて測定対象の厚みを演算する構成にした厚み測定装置において、上記データ処理部は、上記基準背圧値を基にして噴射ノズル位置を複数回検出して、背圧と噴射ノズル位置に関する複数の座標点を求め、これらの座標点を基にして近似曲線を求め、この近似曲線上の基準背圧値に対応する噴射ノズル位置を算出することを特徴とする厚み測定装置。

IPC (1件)：

G01B 13/06

FI (1件)：

G01B 13/06

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭49-094349
特開昭61-155711
特開昭55-152408

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