結晶シリコン製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-333704
公開番号（公開出願番号）：特開2002-137996
特許番号：特許第4444482号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】チャンバー内に、シリコン融液を収容するルツボと、そのルツボを載置する載置台と、ルツボおよび載置台を包囲する包囲炉と、包囲炉内でルツボの上方位置および下方位置に各々配置され、固体シリコンを加熱してシリコン融液を生成する上,下加熱部とを備えた結晶シリコン製造装置において、包囲炉の底部に形成された下開口を開閉する下部開閉機構と、前記下開口を介し包囲炉内の熱を吸熱する吸熱板とを有し、前記吸熱板は、チャンバーと共に、チャンバー内を流通する冷却水用の冷却水路を形成していることを特徴とする結晶シリコン製造装置。

IPC (3件)：