特許
J-GLOBAL ID：201103046089579256
圧力センサおよびその圧力センサを用いた気体流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光 (外1名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-089633
公開番号（公開出願番号）：特開平2-268230
出願日： 1989年04月11日
公開日（公表日）： 1990年11月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】膜状圧電体の両面に電極層を設けて構成されかつ平面状に張設された圧電素子を2個有する圧力検出部と、両圧電素子の出力の和を増幅する増幅器とを備え、前記2個の圧電素子は両面がそれぞれ同一の方向に向きかつ同一方向の面がそれぞれ同一の分極極性となるように配置され、前記圧力検出部には流体の圧力を導入する2個の入口ノズルが設けられ、一方の入口ノズルが第1の流体圧力導入経路を介して一方の圧電素子の一方の面と該面とは分極極性が異なる他方の圧電素子の一方の面に連通されるとともに他方の入口ノズルが第2の流体圧力導入経路を介して前記一方の圧電素子の他方の面と前記他方の圧電素子の他方の面に連通され、前記圧力検出部内における前記一方の入口ノズルと第1の流体圧力導入経路の容積と前記他方の入口ノズルと第2の流体圧力導入経路の容積とが実質的に等しいことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/08
, G01F 1/20 E
, G01F 1/32 G
