特許
J-GLOBAL ID：201103046104501234

ガラスセラミック基板の製造方法

発明者：
宮内 正彦

宮内 正彦 について

, 
佐多 明史

佐多 明史 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-358325
公開番号（公開出願番号）：特開2002-160979
特許番号：特許第3872284号
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2002年06月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 有機バインダーを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、 難焼結性無機材料と有機バインダーとを含む拘束グリーンシートにガラスと溶剤とを含む密着剤を塗布する工程と、 前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、前記拘束グリーンシートと前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体との間に前記塗布した密着剤層を設けて、前記密着剤を塗布した拘束グリーンシートを積層する工程と、 前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、次いで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、 前記拘束シートに液体と研磨材粒子と気体との混合物を投射して前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、 前記密着剤中のガラス含有量が、焼成時に前記拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ焼成後に拘束シートとともにガラスセラミック基板から除去される量であり、前記密着剤中に含有されるガラスの軟化点が、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の焼成温度以下であることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
IPC (7件)：
C04B 35/64 ( 200 6.01) ,  B32B 18/00 ( 200 6.01) ,  C04B 35/622 ( 200 6.01) ,  C04B 41/91 ( 200 6.01) ,  H01L 23/12 ( 200 6.01) ,  H01L 23/15 ( 200 6.01) ,  H05K 3/46 ( 200 6.01)
FI (9件)：
C04B 35/64 G ,  B32B 18/00 D ,  B32B 18/00 B ,  C04B 35/00 G ,  C04B 41/91 Z ,  H01L 23/12 D ,  H01L 23/14 C ,  H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 X
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM