特許
J-GLOBAL ID：201103046289487690
プラズマディスプレイ用部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-177401
公開番号（公開出願番号）：特開2011-034704
出願日： 2009年07月30日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：
【課題】生産性の高いプラズマディスプレイ用部材を提供し、かつ表示品位が高いプラズマディスプレイを提供する。【解決手段】基板上に感光性ガラスペースト層を形成し、複数回の露光動作を行い、現像し、焼成して格子状隔壁を形成するディスプレイ用部材の製造方法であって、格子状の透光パターンを有するフォトマスクの主隔壁の長手方向最外部に位置する補助隔壁の開口幅が、主隔壁の長手方向中央部に位置する補助隔壁の開口幅よりも大きく、複数回の露光動作のうち、特定の露光動作を行った後、次の露光動作を行う間に、格子状の透光パターンを有するフォトマスクと基板とをアドレス電極と平行に相対移動させるフォトマスク移動動作を行い、フォトマスク移動動作における移動距離が、格子状の透光パターンを有するフォトマスクの主隔壁の長手方向最外部に位置する補助隔壁とそれに隣り合う補助隔壁のピッチの整数倍である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に複数の略ストライプ状のアドレス電極、該アドレス電極を覆う誘電体層ならびに該アドレス電極に略平行な主隔壁および該主隔壁と略直交する補助隔壁からなる格子状隔壁を有するプラズマディスプレイ用部材を製造するにあたり、基板上にアドレス電極もしくはアドレス電極の前駆体、ならびに誘電体層もしくは誘電体層の前駆体を設け、該誘電体層または誘電体層の前駆体上に感光性ガラスペースト層を形成し、該アドレス電極またはアドレス電極の前駆体に略平行な主隔壁形成用透光部およびこれに略直交する補助隔壁形成用透光部からなる格子状の透光パターンを有するフォトマスクを介して複数回の露光動作を行い、現像し、焼成して格子状隔壁を形成するディスプレイ用部材の製造方法であって、該格子状の透光パターンを有するフォトマスクの該主隔壁形成用透光部の長手方向最外部に位置する補助隔壁形成用透光部の開口幅が、該主隔壁形成用透光部の長手方向中央部に位置する補助隔壁形成用透光部の開口幅よりも大きく、該複数回の露光動作のうち、特定の露光動作を行った後、次の露光動作を行う間に、該格子状の透光パターンを有するフォトマスクと基板とを該アドレス電極と平行に相対移動させるフォトマスク移動動作を行い、該フォトマスク移動動作における移動距離が、該格子状の透光パターンを有するフォトマスクの主隔壁形成用透光部の長手方向最外部に位置する補助隔壁透光部とそれに隣り合う補助隔壁透光部のピッチの整数倍であることを特徴とするプラズマディスプレイ用部材の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040FA04
, 5C040GB03
, 5C040GB14
, 5C040GF03
, 5C040GF19
, 5C040JA15
, 5C040JA32
, 5C040LA14
, 5C040MA23
