特許

J-GLOBAL ID：201103046491439126

ベースライン制御スクリプトを用いてツールを制御するための方法および装置

発明者： クリストファー エイ. ボード ,  アレクサンダー ジェイ. パサディン ,  アンソニー ジェイ. トプラク ,  ジョイス エス. オーイ ヒューイット ,  アナスタシア オシェルスキー ピーターソン ,  トーマス ジェイ. ソンダーマン ,  マイケル エル. ミラー
出願人/特許権者： アドバンスト・マイクロ・ディバイシズ・インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 鈴木 正剛 ,  佐野 良太 ,  村松 義人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-568120
特許番号：特許第4261190号
出願日： 2001年10月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 複数のツールで被加工物を処理する際に、 前記複数のツールのうちの選択したツールについてベースライン制御スクリプトを開始するステップと、 前記ベースライン制御スクリプトのコンテキスト情報を提供するステップと、 前記コンテキスト情報に基づいてツールのタイプを判定するステップと、 前記選択したツールの制御ルーチンをツールのタイプに基づいて選択するステップと、 前記選択したツールにおいて処理される少なくとも一つの被加工物についての計測データを受信するステップと、 前記計測データに基づき、前記制御ルーチンを実行して前記選択したツールのコントロールアクションを生成するステップとを少なくとも実行する、製造システムを制御するための方法。

IPC (1件)：

H01L 21/02 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 多系統の自動プログラミング方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-130826   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭61-019548