特許
J-GLOBAL ID：201103046736500179

水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法及び水晶振動子と水晶ユニットと情報通信機器

発明者：
川島 宏文

川島 宏文 について


出願人/特許権者：
有限会社ピエデック技術研究所

有限会社ピエデック技術研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-179028
公開番号（公開出願番号）：特開2011-024225
出願日： 2010年07月22日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：
【課題】屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器、及び各製造方法の提供。【解決手段】音叉基部48とその音叉基部に接続された第1音叉腕46と第2音叉腕47とを備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子45の製造方法で、音叉型屈曲水晶振動子45は基本波モード振動のフイガーオブメリットM1と周波数安定係数S1を備え、かつ、2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2と周波数安定係数S2を備え、M1>M2とS1<S2の関係が得られるように、音叉形状と溝49,50と電極の寸法を決定する工程を備えている水晶振動子の製造方法である。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕とを備えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、 研磨加工あるいはポリッシュ加工された水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成する工程と、 前記金属膜の上にレジストを塗布する工程と、 前記音叉基部は切り欠き部分と、第1幅S5を備えた第1基部部分と前記第1幅S5より大きい、または等しい第2幅S6を備えた第2基部部分を備え、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の一端部は前記第1基部部分に接続されていて、前記切り欠き部分を前記第1基部部分と前記第2基部部分の間に形成する工程と、 前記音叉基部と前記第1音叉腕と前記第2音叉腕とを備えた音叉形状を形成する工程と、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各音叉腕に溝を、又は前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各音叉腕と前記音叉基部に溝を形成する工程と、 前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各音叉腕に形成された前記溝の面の上に電極を配置する工程と、 前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各音叉腕の第1側面とその第1側面に対抗する第2側面の各側面に電極を配置する工程と、 前記音叉型屈曲水晶振動子の第1電極端子を形成するために、前記第1音叉腕に形成された溝の面の上に配置された前記電極を、前記第2音叉腕の第1側面と第2側面の各側面に配置された前記電極に接続する工程と、 前記音叉型屈曲水晶振動子の第2電極端子を形成するために、前記第2音叉腕に形成された溝の面の上に配置された前記電極を、前記第1音叉腕の第1側面と第2側面の各側面に配置された前記電極に接続する工程と、を含み、前記音叉型屈曲水晶振動子は基本波モード振動のフイガーオブメリットM1と周波数安定係数S1を備え、かつ、2次高調波モード振動のフイガーオブメリットM2と周波数安定係数S2を備え、M1>M2とS1<S2の関係が得られるように、前記音叉形状と前記溝と前記電極の寸法を決定する工程を備えていることを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (8件)：
H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H03H 9/02 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/09
FI (10件)：
H03H3/02 D ,  H03H3/02 C ,  H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03H9/02 K ,  H03H3/02 Z ,  H03B5/32 H ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 C
Fターム (30件)：
5J079AA02 ,  5J079AA04 ,  5J079BA39 ,  5J079BA44 ,  5J079BA49 ,  5J079FA01 ,  5J079FA14 ,  5J079FA21 ,  5J079FB03 ,  5J079HA03 ,  5J079HA07 ,  5J079HA09 ,  5J079HA14 ,  5J079HA22 ,  5J079HA25 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE18 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108NA03
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特開昭56-65517
  • 圧電振動子及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-023077   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
  • 国際公開第00/44092

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