弾性表面波素子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安富耕二 (外1名)
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-127325
公開番号（公開出願番号）：特開平2-305207
出願日： 1989年05月19日
公開日（公表日）： 1990年12月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数の弾性表面波素子の電極が形成されるウエハの一方の主面から第1のブレートにより切込溝を形成する工程と、前記第1のブレードより幅狭の第2のブレードにより前記切込溝にそって前記ウエハの他方の主面まで切断する工程とを具備する弾性表面波素子の製造方法。

IPC (1件)：