特許
J-GLOBAL ID:201103046862502900
固体撮像素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 司朗
, 小林 国人
, 川畑 孝二
, 木村 公一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-123247
公開番号(公開出願番号):特開2011-249677
出願日: 2010年05月28日
公開日(公表日): 2011年12月08日
要約:
【課題】基板上方に配列された複数の光電変換部を有する固体撮像素子であって、画素間の混色、感度低下、および、高照度時のシェーディングの抑制が可能な、固体撮像素子を提供する。【解決手段】基板5の上方に配列された複数の光電変換部9を有する固体撮像素子1であって、前記光電変換部9が、基板5の上方に形成された下部電極25と、下部電極25の上面に形成された光電変換膜27と、光電変換膜27の上面に形成された上部電極29とを含んで構成され、上部電極29の上面に接して配置され、光電変換部9に開口を有する形状で、隣接する光電変換部9の境界部分に形成された導電膜33を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に2次元配列された複数の光電変換部を有する固体撮像素子において、
前記光電変換部は、前記基板上に形成された下部電極と、前記下部電極の上面に形成された光電変換膜と、前記光電変換膜の上面に形成された上部電極とを含み、
前記上部電極は、全画素に対応した1または複数の共通の電極膜から構成され、
当該共通の電極膜の主面であって1または複数の光電変換部から構成される所定領域と当該所定領域に隣接する他の光電変換部との境界部分に、当該電極膜に接する状態で導電膜が形成されている
ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3件):
H01L 27/146
, H01L 27/14
, H04N 5/369
FI (3件):
H01L27/14 E
, H01L27/14 D
, H04N5/335 690
Fターム (23件):
4M118AA05
, 4M118AA06
, 4M118AB01
, 4M118BA07
, 4M118CA14
, 4M118CB14
, 4M118CB20
, 4M118FA06
, 4M118FA07
, 4M118GB03
, 4M118GB07
, 4M118GB11
, 4M118GB15
, 4M118GC08
, 4M118GC14
, 4M118GD04
, 4M118GD07
, 5C024CX41
, 5C024CY33
, 5C024CY47
, 5C024EX52
, 5C024GX07
, 5C024GX22
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