特許
J-GLOBAL ID:201103046880894807
光学自動測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
丸山 温道
, 稲岡 耕作
, 川崎 実夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-229518
公開番号(公開出願番号):特開2002-039955
特許番号:特許第4347504号
出願日: 2000年07月28日
公開日(公表日): 2002年02月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】投光部から投光された光をサンプルに当て、受光部に返ってくる光を測定する光学自動測定方法において、
サンプル設置台と、投光部及び受光部との間に、可動反射部材を移動可能に設置し、
可動反射部材の、サンプル設置台と反対の側に固定反射部材を設置し、
可動反射部材を光軸下に移動させた状態で、
投光部から投光された光を可動反射部材、固定反射部材、可動反射部材を介して受光部によって受光し、
可動反射部材を光軸から外した状態で、サンプル設置台にリファレンスを設置して投光部から投光された光をリファレンスを介して受光部によって受光し、
両光量の比を求め、
サンプルの測定期間中に、可動反射部材を光軸下に移動させた状態で、
投光部から投光された光を可動反射部材、固定反射部材、可動反射部材を介して受光部によって受光して、この受光光量と前記比とを用いて、リファレンスを置いたときの測定光量を推定し、これを用いて、サンプルの受光光量の補正を行うことを特徴とする光学自動測定方法。
IPC (2件):
G01N 21/93 ( 200 6.01)
, G01N 21/01 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01N 21/93
, G01N 21/01 Z
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