球状シリカ微粒子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小島隆司 , 重松沙織 , 小林克成 , 石川武史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-246132
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060214
特許番号：特許第3796565号
出願日： 2000年08月15日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ハロゲンを含まないシロキサンを液状で噴霧し、火炎中で酸化燃焼して球状シリカ微粒子を得るにあたり、バーナーに供給するシロキサン、助燃ガス、支燃ガス基準で、シロキサン、助燃ガスの燃焼断熱火炎温度を1,600°C以上5,600°C以下とすることを特徴とする、ハロゲンを含まず、ケイ素以外の金属不純物含有量が1ppm以下で、粒子径が10nm〜10μm、比表面積が3〜80m2/gである球状の非晶質シリカ微粒子の製造方法。

IPC (1件)：