特許
J-GLOBAL ID：201103046956606539
マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311573
特許番号：特許第3137112号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成されかつ制御信号に基づいて動作するマイクロマシンスイッチにおいて、各々の端部が離間して配置された第1および第2の高周波信号線と、前記第1の高周波信号線の端部に固定されるとともに前記第2の高周波信号線の上方まで延在しかつ導電性部材を含むカンチレバーと、前記第1または第2の高周波信号線に形成された第1の絶縁手段と、前記カンチレバーと前記第2の高周波信号線との対向領域に形成された第2の絶縁手段と、前記第1の絶縁手段が形成された方の前記第1または第2の高周波信号線の端部と前記第1の絶縁手段との間に接続されかつ直流電圧のレベル変化からなる前記制御信号を印加する第1の制御信号線とを備えることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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