特許
J-GLOBAL ID:201103046967611224

ロット自動搬送システムおよびロット搬送制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 堀 城之
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-106924
公開番号(公開出願番号):特開2000-299264
特許番号:特許第3356109号
出願日: 1999年04月14日
公開日(公表日): 2000年10月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 生産ラインに存在する複数種類の装置のそれぞれへのロットの供給と各装置での処理完了後のロットの回収を少ない待ち時間で均等に行うロット自動搬送システムであって、自動棚および複数の装置が配設され前記自動棚から出庫されたロットを装置に供給する機能と前記装置に置かれたロットを回収して前記自動棚に搬送する機能を備えた少なくとも1つ以上の工程内搬送系と、前記自動棚間を結び当該自動棚から出庫されたロットを他の前記自動棚に搬送する工程間搬送系と、前記自動棚に特定のロットの出庫を指示するとともに、前記工程間搬送系と前記工程内搬送系にロットの搬送先を指示するロット搬送制御装置と、各ロットの工程フローと現在位置を把握するロット進捗管理装置とを有し、前記装置はロットの供給と回収を前記ロット搬送制御装置に要求するように構成され、前記ロット搬送制御装置は、前記自動棚から報告される到着報告を受信し、通知されたロット識別情報に基づいて、ロットの現在工程の装置群を前記ロット進捗管理装置に問い合わせ、当該問い合わせによって得たロットの現在工程の装置群が、許容時間開始工程を担当する装置群であって、前記ロット進捗管理装置にさらに当該ロットの次工程の装置群を問い合わせるとともに、次工程の装置群が許容時間終了工程を担当する装置群であるときに現在工程の装置群配下の第1種の開始処理待ちロット集合のキューにロット識別情報を登録する一方、次工程の装置群が許容時間終了工程を担当する装置群でないときに現在工程の装置群配下の第2種の開始処理待ちロット集合のキューにロット識別情報を登録し、当該問い合わせによって得たロットの現在工程の装置群が、許容時間終了工程を担当する装置群であって、当該ロットがすでに前記装置群の装置に予約されているときに現在工程の装置群配下の第1種の終了処理待ちロット集合のキューにロット識別情報を登録する一方、当該ロットが前記装置群の装置に予約されていないときに現在工程の装置群配下の第2種の終了処理待ちロット集合のキューにロット識別情報を登録し、当該問い合わせによって得たロットの現在工程の装置群が許容時間開始工程も許容時間終了工程も担当しない装置群の場合は、当該装置群配下のキューにロット識別情報を登録するように構成されていることを特徴とするロット自動搬送システム。
IPC (1件):
H01L 21/02
FI (1件):
H01L 21/02 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)

前のページに戻る