特許
J-GLOBAL ID：201103046991246707
帯電粒子の帯電量特定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 石川 滝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-067694
公開番号（公開出願番号）：特開2011-202965
出願日： 2010年03月24日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】装置規模を大型化することなく、粒径が数μm以上の帯電粒子の帯電量を精緻に測定もしくは特定することのできる、帯電粒子の帯電量特定装置を提供する。【解決手段】帯電粒子pを含む気体Aを取り込むとともに、帯電粒子pをセンシングする粒子センサを備えた導入部10、気体Aの流速を調整し、少なくとも検出部20aにて気体Aを静止させる流速調整部30、電界生成機構、照射機構、受光機構を有する検出部20aと、粒子センサから送信された帯電粒子データを受信し、流速調整部30の作動を制御する制御部40と、を備え、検出部20aにおいて、電界生成機構が作動されて該検出部20a内で電界を生じさせ、作用する電界および重力によって帯電粒子pの移動が生ぜしめられ、移動する該帯電粒子pから発せられる散乱光の受光データから帯電粒子の帯電量を特定する装置100である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
浮遊する帯電粒子を含む気体を取り込むとともに、帯電粒子をセンシングする粒子センサを備えた導入部と、
前記導入部を通過して流速を有する前記気体の該流速を調整し、少なくとも検出部にて該気体を静止させる流速調整部と、
前記流速調整部を通過した前記気体が導入される前記検出部であって、電界生成機構と、該帯電粒子にレーザ光を照射する照射機構と、帯電粒子から発せられる散乱光を受光する受光機構と、を有する検出部と、
前記粒子センサから送信された帯電粒子データを受信し、前記流速調整部の作動を制御する制御部と、を少なくとも備え、前記導入部、前記流速調整部、前記検出部が相互に流路を介して接続されており、
前記検出部において、前記電界生成機構が作動されて該検出部内で電界を生じさせ、作用する電界および重力によって帯電粒子の移動が生ぜしめられ、移動する該帯電粒子から発せられる散乱光の受光データから帯電粒子の帯電量を特定する、帯電粒子の帯電量特定装置。
IPC (3件)：
G01N 27/60
, G01N 15/14
, G01N 15/12
G01N27/60 C
, G01N15/14 P
, G01N15/12 B
2G041AA09
, 2G041BA02
, 2G041BA19
