特許
J-GLOBAL ID：201103047039039060
照明装置,投影露光装置及び素子製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-146216
公開番号（公開出願番号）：特開平3-011614
特許番号：特許第2770984号
出願日： 1989年06月08日
公開日（公表日）： 1991年01月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】コヒーレント光源と、オプティカルインテグレーターと、前記光源からの光束を2次元的に複数個の光束に振幅分割し、該複数個の光束を互いにほぼインコヒーレントな光束に変換し、前記オプティカルインテグレーターの光入射面に互いに異なる方向から入射させて重畳せしめる光学手段と、前記オプティカルインテグレーターからの光束を被照明面に向ける光学系とを有することを特徴とする照明装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 527
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
