石英ガラスルツボおよびその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：波多野久 , 関口俊三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154295
公開番号（公開出願番号）：特開2000-344536
特許番号：特許第3765368号
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】石英ガラスルツボの厚さ方向に垂直な断面を514nmのレーザ光で励起するレーザラマン法で測定した際の波長数4000〜4100cm-1の蛍光強度の積分値を波長800cm-1のSiOピークの積分値で除した値:αが石英ガラスルツボの内表面から0.5mm以上の厚さでα≦0.05であり、かつ石英ガラスルツボの内表面から少なくとも1.0mmの厚さより外周側全域のOH基濃度が100ppm以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。

IPC (2件)：