撥液レジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鮫島睦 , 田村恭生 , 新免勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-049202
公開番号（公開出願番号）：特開2011-184517
出願日： 2010年03月05日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：

【課題】保存安定性がよく、成膜時に異物の発生が無く、撥液性に優れた撥液レジスト組成物の提供。【解決手段】(a1)炭素数4〜8のフルオロアルキル基(炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい)を有するα位置換アクリレート100重量部、(a2)エポキシ基含有モノマー5〜80重量部および(a3)(R1O)nR2で示されるアルキレンオキサイド基を含有するモノマー10〜40重量部を繰り返し単位とするフッ素系ポリマー(A1)を含有し、フッ素系ポリマー(A1)のフッ素濃度が15〜40重量%および重量平均分子量が3,000〜20,000である撥液レジスト組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

撥液レジスト組成物であって、 (a1)炭素数4〜8のフルオロアルキル基(炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい)を有するα位置換アクリレート 100重量部 [α位の置換基は、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、CFX1X2基(但し、X1およびX2は、水素原子、フッ素原子または塩素原子)、シアノ基、炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のフルオロアルキル基、置換もしくは非置換のベンジル基、置換もしくは非置換のフェニル基、または炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状アルキル基である。]

IPC (9件)：

C08F 220/22 , G03F 7/004 , G03F 7/033 , G03F 7/027 , G02B 5/20 , G02B 1/04 , G02B 5/00 , H01L 21/027 , G03F 7/038

FI (10件)：

C08F220/22 , G03F7/004 505 , G03F7/004 501 , G03F7/033 , G03F7/027 502 , G02B5/20 101 , G02B1/04 , G02B5/00 B , H01L21/30 502R , G03F7/038 501

Fターム (54件)：

2H042AA09 , 2H042AA11 , 2H042AA26 , 2H048BA11 , 2H048BA43 , 2H048BA47 , 2H048BA48 , 2H048BA55 , 2H048BA64 , 2H048BB01 , 2H048BB41 , 2H125AC35 , 2H125AD02 , 2H125AM23P , 2H125AM25P , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AM32P , 2H125AM34P , 2H125AN39P , 2H125BA16P , 2H125CA18 , 2H125CB02 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 2H125CD06P , 2H125CD08P , 2H125CD34 , 4J100AJ01S , 4J100AJ02S , 4J100AJ08S , 4J100AJ09S , 4J100AL08P , 4J100AL08R , 4J100AL10Q , 4J100AL21P , 4J100AL26P , 4J100AM05P , 4J100BA08R , 4J100BA34P , 4J100BA51P , 4J100BA58P , 4J100BA59P , 4J100BB18P , 4J100BC04P , 4J100BC43P , 4J100BC44P , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100DA29 , 4J100DA37 , 4J100FA04 , 4J100JA38

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