真空チャック

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤捷雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-543063
公開番号（公開出願番号）：特表2011-509839
出願日： 2009年01月19日
公開日（公表日）： 2011年03月31日
要約：

【課題】本発明は、構造を簡略化し組立時間を短縮することでコストを軽減し重量を軽くすることを可能とした真空チャックを提供する。【解決手段】上面に格子状に設けた支持突起(110)及び真空溝(111)と、内部に設けた設置スペース(120)、真空スペース(121)、及びフィルタースペース(122)を備え、このフィルタースペース(122)から真空溝(111)に連通する真空孔(123)を形成し、さらに設置スペース(120)及び真空スペース(121)に連通する吸気口(130)及び排気口(131)を背面に備えた本体(100)と、この本体(100)の設置スペース(120)、真空スペース(121)及びフィルタースペース(122)内に設置されたエアセービングバルブ(B)と、真空センサ(S)と、真空生成器(V)と、及びフィルター(F)と、本体(100)の前面に取り付けられた吸気口(130)及び真空スペース(121)に連通する圧力計(200)及び真空計(300)と、本体(100)の前面中央に設置され、真空スペース(121)を開閉するよう前後に移動するスイッチ(400)と、本体(100)の下部に気密結合する本体カバー(500)と、フィルタースペース(122)の下部に気密結合するフィルターカバー(600)とを備えることで解決した。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

上面に格子状に設けた支持突起(110)及び真空溝(111)と、内部に設けたところの設置スペース(120)と真空スペース(121)、及びフィルタースペース(122)とを備え、このフィルタースペース(122)から真空溝(111)に連通する真空孔(123)を形成し、さらに前記設置スペース(120)及び前記真空スペース(121)に連通する吸気口(130)及び排気口(131)を背面に備えた本体(100)と、この本体(100)の前記設置スペース(120)、前記真空スペース(121)、及び前記フィルタースペース(122)内に設置されたエアセービングバルブ(B)、真空センサ(S)、真空生成器(V)、及びフィルター(F)と、前記本体(100)の前面に取り付けられた前記吸気口(130)及び前記真空スペース(121)に連通する圧力計(200)及び真空計(300)と、前記本体(100)の前面中央に設置され、前記真空スペース(121)を開閉するよう前後に移動するスイッチ(400)と、前記本体(100)の下部に気密結合する本体カバー(500)と、前記フィルタースペース(122)の下部に気密結合するフィルターカバー(600)とを備えたことを特徴とする、真空チャック。

IPC (1件)：

B23Q 3/08

FI (1件)：

B23Q3/08 A

Fターム (1件)：

3C016DA03

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