特許

J-GLOBAL ID：201103047284825985

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子

発明者： 縄野 真久
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-000829
公開番号（公開出願番号）：特開2011-142144
出願日： 2010年01月05日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：

【課題】鉛を含有せず、圧電特性が優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12と、第1電極60と、前記第1電極上に形成され鉄マンガン酸ビスマスランタンを含む圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2電極と、を備えた圧電素子300と、を具備し、前記圧電体層は、粉末X線回折パターンにおいて、φ=ψ=0°で測定したときの20°<2θ<25°に観測される回折ピークの面積強度が、20°<2θ<50°に観測される回折ピークの面積強度の総和の90%以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ノズル開口に連通する圧力発生室と、第1電極と、前記第1電極上に形成され鉄マンガン酸ビスマスランタンを含む圧電体層と、前記圧電体層上に形成された第2電極と、を備えた圧電素子と、を具備し、 前記圧電体層は、粉末X線回折パターンにおいて、φ=ψ=0°で測定したときの20°<2θ<25°に観測される回折ピークの面積強度が、20°<2θ<50°に観測される回折ピークの面積強度の総和の90%以上であることを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (8件)：

H01L 41/18 ,  B05C 5/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/08

FI (9件)：

H01L41/18 101Z ,  B05C5/00 101 ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 Z

Fターム (7件)：

2C057AG44 ,  2C057BA14 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA34

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Observation of structural transitions and Jahn?Teller distortion in LaMnO3-doped BiFeO3 thin films