特許
J-GLOBAL ID：201103047632309740
フォトニック結晶の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329953
特許番号：特許第3488919号
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に屈折率の異なる少なくとも2種類の材料部分を螺旋状に形成してなる同一材料部分が連続的に螺旋状に繋がった柱状体を2次元配列したフォトニック結晶の作製方法であって、基板上に最初の螺旋一段分を形成して2次元配列させる工程(A)の後、前記最初の螺旋一段分の上に、屈折率の異なる少なくとも2種類の材料部分を互い違いに順次螺旋一段分ずつ積層させる工程(B)を繰り返して行なうこと、を特徴とするフォトニック結晶の作製方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 N
, G02B 6/12 M
