特許

J-GLOBAL ID：201103047650406460

ボールステップゲージ測定用光波干渉ステッパ

発明者： 高辻 利之 ,  大澤 尊光 ,  黒澤 富蔵 ,  野口 宏徳
出願人/特許権者： 経済産業省産業技術総合研究所長
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-172291
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004322
特許番号：特許第3210964号
出願日： 1999年06月18日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ボールステップゲージの第1のボールに3球球面座で3点接触する第1接触部と、第2のボールにV面で2点接触する第2接触部と、ローリング防止面に1点で接触する第3接触部と、3球球面座の中心軸断面上に反射面を一致させた左右2個の反射部材とを備えたことを特徴とするボールステップゲージ測定用光波干渉ステッパ。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01B 5/00 ,  G01B 9/02 ,  G01B 21/20 101

FI (4件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 5/00 P ,  G01B 9/02 ,  G01B 21/20 101 Z