特許

J-GLOBAL ID：201103047828943600

2次元アレイ型検出装置

発明者： 佐藤 敏幸 ,  徳田 敏 ,  佐藤 賢治 ,  鈴木 準一 ,  吉牟田 利典 ,  平澤 伸也 ,  堀 直行 ,  岸本 栄俊
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-251206
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077341
特許番号：特許第3436196号
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 支持基板の表面に形成され、負のバイアス電圧を印加する共通電極と、共通電極の表面側に積層形成されているとともに検出対象の光または放射線に感応してキャリアを生成するCdX (Zn)1-X Teからなる感応半導体膜と、感応半導体膜の表面に2次元アレイ配列に対応して区画形成されているとともに感応半導体膜とヘテロ接合をなすCdSからなる接合用半導体膜と、各接合用半導体膜の表面にそれぞれ形成された個別電極とを具備している検出側基板と、検出側基板の個別電極に対応する配列で多数個の生成キャリア蓄積・読み出し用の素子が回路基板の上に設けられてなる読み出し側基板とが、各読み出し用の素子が各個別電極と電気的に接続されるようにして合体されているとともに、支持基板の共通電極非形成側より光または放射線が入射する構成となっていることを特徴とする2次元アレイ型検出装置。

IPC (1件)：

H01L 27/146

FI (1件)：

H01L 27/14 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 放射線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-335071   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 特開昭62-022474
  
• 特開昭62-022474