特許

J-GLOBAL ID：201103047839563060

静電チャック

発明者： 梅津 基宏 ,  石井 守 ,  石田 弘徳 ,  白川 洋一 ,  指田 則和 ,  南澤 一右 ,  岸 幸男 ,  齋藤 和則 ,  鈴木 弘志 ,  松尾 裕之
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社 ,  株式会社日本セラテック
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-172269
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168180
特許番号：特許第3494956号
出願日： 2000年06月08日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電極と、その上に設けられた誘電層とを有し、電極に電圧を印加することにより、誘電層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記誘電層は、周期律表3A族に属する元素を含む酸化物と、酸素欠損を有し、周期律表3A族に属する元素とTiとを含む複合酸化物とを主体とする導電性を有するセラミックス材料で構成され、その電気伝導率が、10-8〜10-14S/cmであり、前記周期律表3A族に属する元素がY、La、Yb、またはDyであることを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/46 ,  H02N 13/00

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 35/46 C ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-047100   出願人：京セラ株式会社