特許
J-GLOBAL ID：201103048265549582
ゲッタ装置およびセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和泉 良彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292621
公開番号（公開出願番号）：特開2002-098046
特許番号：特許第3565153号
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上に設けた薄膜ヒータと、前記薄膜ヒータ上に設けたゲッタ層とを有し、 前記薄膜ヒータおよび前記ゲッタ層が前記基板に対して平面的に形成されていることを特徴とするゲッタ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B 37/02 A
, G01J 1/02 C
