特許
J-GLOBAL ID:201103048540483783

X線CT装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 河▲崎▼ 眞樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-235121
公開番号(公開出願番号):特開2011-080944
出願日: 2009年10月09日
公開日(公表日): 2011年04月21日
要約:
【課題】BGAやCSPなど、半田ボール等の複数の特定部位が対象物の表面ないしは内部に平面に沿って存在している回路基板等の対象物の検査において、半田ボール等が並ぶ平面による切断のための設定作業を不要としたX線CT装置を提供する。【解決手段】CT撮影により得られた投影データを逆投影処理して求めた対象物Wの3次元画像情報から、対象物の表面または内部に平面に沿って存在するあらかじめ設定された複数の特異部位の像を捜し出し、その各特異部位の像の中心が通る平面Pを求める特異部位像配列平面算出手段と、その平面Pでスライスした断層像を3次元画像情報に基づいて作成して自動的に表示器に表示する表示手段を備えることで、半田ボール等が並ぶ平面でスライスした断層像を、オペレータによるスライス位置の設定作業を必要とすることなく直ちに表示することを可能とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、対象物を配置するための試料ステージが設けられ、上記X線源からのX線を試料ステージ上の対象物に照射しつつ、上記X線源とX線検出の対と試料ステージとを相対回転させて取り込んだ複数の投影角度でのX線投影データを再構成することにより、対象物の3次元画像情報を構築するX線CT装置において、 上記3次元画像情報から、対象物の表面もしくは内部に平面に沿って存在するあらかじめ設定された複数の特異部位の像を捜し出し、当該各特異部位の像を通る平面を求める特異部位像配列平面算出手段と、その求められた平面でスライスした断層像を上記3次元画像情報に基づいて作成して自動的に表示器に表示する表示手段を備えていることを特徴とするX線CT装置。
IPC (1件):
G01N 23/04
FI (1件):
G01N23/04
Fターム (22件):
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001FA16 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001HA20 ,  2G001JA07 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14 ,  2G001QA01

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