特許

J-GLOBAL ID：201103048557189617

ビーム偏向装置

発明者： ラファエル、シュトルツ ,  ヨハン、エンゲルハルト ,  ホルガー、バーク ,  ヨアヒム、ブラドル
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムズ ツェーエムエス ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356044
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166245
特許番号：特許第4571742号
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 回転駆動機構(1)により交互回転可能なミラー装置(4)によって光ビームを偏向させるビーム偏向装置であって、 前記回転駆動機構(1)は、 前記回転駆動機構(1)の回転軸線(5)を中心にして軸(6)を回転させる第1の駆動装置(2)と、前記回転駆動機構(1)の回転軸線(5)を中心にして軸(7)を回転させる第2の駆動装置(3)と、を備え、 前記第2の駆動装置(3)は、 前記第2の駆動装置(3)が前記第1の駆動装置(2)によって回転可能に前記第1の駆動装置(2)の軸(6)に取り付けられ、 前記ミラー装置(4)は、 前記第2の駆動装置(3)の軸(7)に取り付けられる ことを特徴とするビーム偏向装置。

IPC (2件)：

G02B 26/10 ( 200 6.01) ,  G02B 26/08 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G02B 26/10 101 ,  G02B 26/10 C ,  G02B 26/08 E

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開2050-017723
  
• 改善された走査機構を用いた走査型顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-169946   出願人：ジェネラル・スキャンニング・インコーポレイテッド