コンベア炉

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188888
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015447
特許番号：特許第3934281号
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】加熱・乾燥手段が設けられたチャンバー内に基板を通過させて、前記基板上に付着させた付着物を乾燥又は焼成させるコンベア炉において、前記チャンバーの基板出入口に設けられたエアーカーテンと、前記エアーカーテンのエアーを加熱するエアー加熱部と、前記エアーカーテンの外側に設けられ、前記エアーカーテンから漏れたガスを排気するエアーカーテン外排気ダクトとを備え、前記エアー加熱部は、前記エアーカーテンのエアーの温度が、前記付着物から発生する溶剤ガスの露点より高くなるように前記エアーを加熱し、前記付着物から発生する溶剤ガスを排気するチャンバー内排気ダクトと、前記チャンバー内排気ダクトから排出された溶剤ガスを液化して収集する液溜部と、前記液溜部で収集した液状の溶剤を回収する溶剤回収部と、前記チャンバーの基板出入口に設けられ、前記チャンバーの基板出入口を加熱する基板出入口加熱部とをさらに備え、前記基板出入口加熱部は、前記チャンバーの基板出入口を、前記付着物から発生する溶剤ガスの露点より高い温度まで加熱し、前記チャンバーの基板出入口付近に設けられ、前記付着物から発生する溶剤ガスを吸収する溶剤吸収部をさらに備えることを特徴とするコンベア炉。

IPC (6件)：

H01L 21/26 ( 200 6.01) , B23K 1/00 ( 200 6.01) , B23K 1/008 ( 200 6.01) , F27B 9/10 ( 200 6.01) , F27D 7/06 ( 200 6.01) , H05K 3/34 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/26 G , B23K 1/00 330 E , B23K 1/008 C , F27B 9/10 , F27D 7/06 B , H05K 3/34 507 H

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開昭64-057089

審査官引用 (2件)

特開昭64-057089
特開昭64-057089

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