特許

J-GLOBAL ID：201103048766222222

キャリブレーション方法、位置決め方法、位置決め装置、キャリブレーションプログラム、及び位置決めプログラム

発明者： 増田 勝利 ,  稲葉 貴則 ,  矢崎 智広 ,  松田 貴文
出願人/特許権者： 株式会社ファースト
代理人 (1件)： 渡部 温 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-238857
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050106
特許番号：特許第3531674号
出願日： 2001年08月07日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 移動可能なテーブルと、前記テーブル又は前記テーブル上に載せられる位置決め対象物を撮像する少なくとも1つの撮像部とを有する位置決め装置のキャリブレーションを行う方法であって、前記テーブル又は前記撮像部を移動させ、前記テーブルの所定部分を撮像することにより、前記テーブルと前記撮像部との位置関係を算出するステップ(a)と、前記テーブル又は前記撮像部を移動させ、前記テーブルの所定部分を撮像し、ステップ(a)において算出された前記テーブルと前記撮像部との位置関係を用いることにより、前記テーブルと前記テーブルの所定部分との位置関係を算出するステップ(b)と、前記テーブル又は前記撮像部を移動させ、前記テーブルの所定部分を撮像することにより、補正量を求めて前記テーブルと前記テーブルの所定部分との位置関係を補正するステップ(c)と、前記テーブル又は前記撮像部を移動させ、前記テーブルの所定部分を撮像し、ステップ(c)において補正された前記テーブルと前記テーブルの所定部分との位置関係を用いて、ステップ(a)において算出された前記テーブルと前記撮像部との位置関係より高い精度で前記テーブルと前記撮像部との位置関係を再算出するステップ(d)と、ステップ(c)において求められた補正量が所定の値以下となるまで、ステップ(c)及びステップ(d)を繰り返すステップ(e)と、を具備するキャリブレーション方法。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G06T 1/00 305 ,  B23P 19/00 302 ,  H05K 13/04

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G06T 1/00 305 C ,  B23P 19/00 302 P ,  H05K 13/04 P