流量計及び流量制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：田澤博昭 , 加藤公延
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142489
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074708
特許番号：特許第3600064号
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流路に流れる流体の流量に応じた第1のアナログ信号を出力する流量検出手段と、前記第1のアナログ検出信号を第1のディジタル値に変換する第1のA/D変換手段と、前記第1のディジタル値を用い、前記第1のディジタル値より低い第2のディジタル値を演算する演算手段と、前記第2のディジタル値を第2のアナログ信号に変換するD/A変換手段と、前記第1のアナログ信号と前記第2のアナログ信号を入力する作動増幅器と、前記作動増幅器の出力を第3のディジタル値に変換する前記A/D変換手段と前記作動増幅器の出力がレンジオーバーした場合、第1のディジタル値により流量を演算し、前記作動増幅器の出力がレンジオーバーしない場合、第3のディジタル値により流量を演算する選択手段と、を備えた流量計。

IPC (3件)：

G01F 1/00 , G05D 7/06 , H03M 1/18

FI (3件)：

G01F 1/00 F , G05D 7/06 Z , H03M 1/18

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-082816
特開平2-226074
特開平4-084520

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審査官引用 (5件)

特開平2-082816
特開平2-226074
特開平4-084520

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