特許
J-GLOBAL ID：201103048810797270
加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 菅野 亨
, 溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-267617
公開番号（公開出願番号）：特開2011-114070
出願日： 2009年11月25日
公開日（公表日）： 2011年06月09日
要約：
【課題】外周面の形状が不均一なワークの固定治具への搬入時に、ワークの分割予定ラインを固定治具の逃げ溝に精度よく位置付けることができる加工装置を提供すること。【解決手段】CSP基板Wを保持する保持テーブル4と、保持テーブル4を加工送り方向に移動させる保持テーブル移動機構61と、保持テーブル4を鉛直軸回りに回転させるθテーブル72と、保持テーブル4に対してCSP基板Wを搬入する搬入アーム51と、搬入アーム51を加工送り方向に直交する搬送方向に移動させる搬入アーム移動機構56と、撮像部55によって撮像されたCSP基板Wの撮像画像に基づいて、CSP基板Wの分割予定ライン101を保持テーブル4の逃げ溝76に位置付けるように、搬入アーム移動機構56と保持テーブル移動機構61とθテーブル72とを駆動させる制御部18とを備えた。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
分割予定ラインによって区画された領域にデバイスが形成されたワークを保持する保持テーブルと、前記保持テーブルを加工送り方向に送る加工方向送り部と、前記保持テーブルの加工送り方向における位置を検出する加工送り方向検出部と、を含む保持テーブル機構と、
前記保持テーブルに保持されたワークを前記分割予定ラインに沿って切削ブレードで加工する加工機構と、
加工前のワークを収容するワーク収容機構と、
前記ワーク収容機構から前記保持テーブルにワークを搬入する搬入機構と、を有する加工装置であって、
前記保持テーブルは、
前記分割予定ラインに対応する切削ブレード逃げ溝と、
各前記デバイスを個々に吸着する吸着部と、
鉛直方向を回転軸として前記保持テーブルを回転させる回転部と、
前記保持テーブルの回転角度を検出する回転角度検出部と、を有し、
前記搬入機構は、
前記ワークを保持する保持部と、
前記保持部によって保持されたワークを撮像する撮像部と、
前記保持部と前記撮像部とを加工送り方向と直交する搬送方向に移動させて前記ワーク収容機構と前記保持テーブルとに対応する位置に位置付ける搬送部と、
前記搬送部の搬送方向における位置を検出する搬送送り方向検出部と、を有し、
前記撮像部によって検出された前記保持部に保持されたワークの分割予定ライン位置及び傾きを基に、前記保持テーブルに形成された前記切削ブレード逃げ溝及び前記吸着部に対応する位置にワークが搬入される様に前記加工方向送り部と前記搬送部と前記回転部とを駆動させる制御機構と、を有することを特徴とする加工装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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