特許

J-GLOBAL ID：201103048817864291

蒸着用素材

発明者： 斉藤 定雄 ,  佐藤 昭文
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (8件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  松冨 豊 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269299
公開番号（公開出願番号）：特開2001-089845
特許番号：特許第3765211号
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】定尺棒状の蒸着素材本体の片端部に、蒸着装置へ前記蒸着素材本体を供給する際にチャック部によって掴むための掴み部を接合し、該掴み部の断面を前記蒸着素材本体の断面よりも小さく設定したことを特徴とする蒸着用素材。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ( 200 6.01) ,  G11B 5/85 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C23C 14/24 D ,  C23C 14/24 E ,  G11B 5/85 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 磁気記録媒体の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-284179   出願人：ソニー株式会社
• 特開平4-173954
  
• 特開昭60-116767
  
• 特開平4-120268