特許

J-GLOBAL ID：201103049057048460

ウェハ研削装置、ウェハ研削方法、ウェハ研削プログラム、及び、ウェハ研削制御装置

発明者： 川島 由嗣
出願人/特許権者： ルネサスエレクトロニクス株式会社
代理人 (3件)： 速水 進治 ,  野本 可奈 ,  天城 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-054995
公開番号（公開出願番号）：特開2011-189411
出願日： 2010年03月11日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：

【課題】ウェハの品種によらないで、ウェハ単位でウェハの研削異常を検出する。【解決手段】本発明のウェハ研削装置は、回転軸に取り付けられ、ウェハを研削するホイールと、回転軸を回転させるモーターと、ウェハの研削開始後のモーターのスピンドル電流値を経時的に検出する検出部と、ウェハとホイールとが接触した後、検出部が検出したスピンドル電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、記憶部が記憶した最初のピーク値と、検出部が検出するスピンドル電流値とを比較し、最初のピーク値を検出した後に検出部が検出したスピンドル電流値が、最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、判断部によってスピンドル電流値が最初のピーク値を基準として定められた値を超えたと判断されたとき、ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回転軸に取り付けられ、ウェハを研削する研削部と、 前記回転軸を回転させるモーターと、 前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出部と、 前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記検出部が検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、 前記記憶部が記憶した前記最初のピーク値と、前記検出部が検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出部が検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、 前記判断部によって前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、 を有するウェハ研削装置。

IPC (4件)：

B24B 49/10 ,  H01L 21/304 ,  B24B 7/00 ,  B24B 49/16

FI (4件)：

B24B49/10 ,  H01L21/304 631 ,  B24B7/00 Z ,  B24B49/16

Fターム (15件)：

3C034AA08 ,  3C034BB87 ,  3C034BB92 ,  3C034CA02 ,  3C034CA05 ,  3C034CA13 ,  3C034CA16 ,  3C034CB01 ,  3C034CB14 ,  3C034DD18 ,  3C043BA03 ,  3C043BA07 ,  3C043CC04 ,  3C043DD06 ,  3C043EE04