特許

J-GLOBAL ID：201103049193196180

ポジ型感放射線性組成物、層間絶縁膜及びその形成方法

発明者： 一戸 大吾
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (7件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-104034
公開番号（公開出願番号）：特開2011-232632
出願日： 2010年04月28日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：

【課題】表面硬度及び耐溶剤性に優れ、充分な透過率及び電圧保持率も有する層間絶縁膜を形成可能であり、かつ保存安定性に優れ、充分な放射線感度を有するポジ型感放射線性組成物を提供する。【解決手段】[A]同一又は異なる重合体分子中にアセタール基を含む構造単位(1)とエポキシ基含有構造単位と下記式(II)で表される構造が窒素原子に結合した基を含む構造単位(2)とを有する重合体、及び[B]酸発生体を含有するポジ型感放射線性組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A]同一又は異なる重合体分子中に、下記式(I)で表される基を含む構造単位(1)とエポキシ基含有構造単位と下記式(II)で表される構造が窒素原子に結合した基を含む構造単位(2)とを有する重合体、及び [B]酸発生体 を含有するポジ型感放射線性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/28

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/28

Fターム (53件)：

2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA11 ,  2H096HA01 ,  2H125AE13P ,  2H125AF16P ,  2H125AF21P ,  2H125AF35P ,  2H125AF46P ,  2H125AF53P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AH07 ,  2H125AH12 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN63P ,  2H125BA05P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CA24 ,  2H125CB02 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AB02R ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL08P ,  4J100AL08T ,  4J100AL10S ,  4J100BA06P ,  4J100BA15T ,  4J100BA30T ,  4J100BC03T ,  4J100BC43R ,  4J100BC53Q ,  4J100CA03 ,  4J100DA01 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA37