金属堆積膜を有する懸濁粒子検出器の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：倉持裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-124295
公開番号（公開出願番号）：特開平2-304339
特許番号：特許第2713367号
出願日： 1989年05月19日
公開日（公表日）： 1990年12月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】白金(Pt)、金(Au)等の耐食性及び導電性に優れた金属で構成されたターゲットを用意し、ついで前記ターゲットに高速の不活性イオンを衝突させて前記耐食性及び導電性に優れた金属を微粒子として放出すると共にアルミナ焼結体、ジルコニア焼結体等の、非汚染性、絶縁性のセラミックスから構成された検出器筒体の外周面に堆積させるスパッタリング処理を行ない、更にこの結果得られた金属堆積膜を有するセラミックス製検出器筒体を、大気中若しくは不活性ガス中で温度800〜1000°Cで加熱処理することによって金属堆積膜層とセラミックス製検出器筒体との結合強化をはかることを特徴とする金属堆積膜を有する懸濁粒子検出器の製造方法。

IPC (1件)：