結晶の連続引き上げ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：渡邉勇 , 堀田信太郎 , 大畑進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-125064
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319088
特許番号：特許第4079548号
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】種結晶及びこの先端で成長するリボン状結晶を鉛直方向に引き上げる直線引き上げ装置と、前記リボン状結晶部分を把持して連続的に引き上げる連続引き上げ機構とを備え、前記直線引き上げ装置は、ガイドレールと、前記ガイドレールに設けられた可動機構と、前記可動機構を前記ガイドレールに沿って移動させるモータと、前記可動機構に接続された結晶位置調整ステージと、前記種結晶が取り付けられる金具とを有し、前記金具は、前記結晶位置調整ステージに取り付けられており、前記金具に取り付けられた前記種結晶がるつぼ内の融液に接触する位置は、前記結晶位置調整ステージによって調整されることを特徴とする結晶の連続引き上げ装置。

IPC (3件)：