特許
J-GLOBAL ID:201103049450634932
電気回路
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
小林 茂
, 阪間 和之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-216583
公開番号(公開出願番号):特開2011-066268
出願日: 2009年09月18日
公開日(公表日): 2011年03月31日
要約:
【課題】物理長の異なる複数の伝送線路において、電気長を等しくする。【解決手段】半導体基板1上の薄膜絶縁体上に形成された物理長の異なる複数の伝送線路A、Bのうち、物理長の長いほうの伝送線路において、伝送線路を構成する信号線メタルと半導体基板1との間に低誘電率絶縁膜3を挟むことによって信号伝搬速度を速くした領域を設け、この低誘電率絶縁膜3を挟んだ領域の長さを伝送線路Aの物理長に応じて調整することによって、すべての伝送線路の電気長を等しくする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
複数の信号線入力電極と、複数の信号線出力電極と、前記複数の信号線入力電極と前記複数の信号線出力電極とについて対応するもの同士を接続する複数の伝送線路とが基板に形成されてなる電気回路であって、前記伝送線路の長さに応じた長さを有する所定誘電率の誘電体層を該伝送線路に設けたことを特徴とする電気回路。
IPC (5件):
H01L 27/14
, H01P 3/08
, H01P 5/04
, H01L 27/04
, H01L 21/822
FI (4件):
H01L27/14 Z
, H01P3/08
, H01P5/04 603D
, H01L27/04 A
Fターム (21件):
4M118AA10
, 4M118AB05
, 4M118BA04
, 4M118CA01
, 4M118CB01
, 4M118CB02
, 4M118CB03
, 5F038AZ01
, 5F038AZ02
, 5F038CA01
, 5F038CA02
, 5F038CA10
, 5F038CD04
, 5F038CD05
, 5F038CD13
, 5F038EZ01
, 5F038EZ02
, 5F038EZ20
, 5J014CA05
, 5J014CA42
, 5J014CA53
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