特許
J-GLOBAL ID:201103049792210387
プラズマリアクタ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
落合 健
, 仁木 一明
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-139488
公開番号(公開出願番号):特開2001-314748
特許番号:特許第3863701号
出願日: 2000年05月12日
公開日(公表日): 2001年11月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】相対向する一対の電極(E1,E2)と、一対の電極(E1,E2)間に配置された誘電体(D)と、一対の電極(E1,E2)に交流電流またはパルス電流を印加する電源(P)とを備え、一対の電極(E1,E2)間のギャップ(G,G1,G2)を流れるガスにプラズマを発生させて改質を行うプラズマリアクタにおいて、
発生するプラズマの平均電流密度Irdが、
10-4A/cm2 ≦Ird≦10-1A/cm2
であることを特徴とするプラズマリアクタ。
IPC (2件):
B01J 19/08 ( 200 6.01)
, H05H 1/24 ( 200 6.01)
FI (2件):
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特開昭63-137748
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放電反応装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-120869
出願人:株式会社荏原製作所
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特開平3-205306
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