特許

J-GLOBAL ID：201103050598661880

感放射線性組成物、硬化膜及びその形成方法

発明者： 米田 英司 ,  梶田 徹
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (8件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  宮崎 悟 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-061575
公開番号（公開出願番号）：特開2011-197142
出願日： 2010年03月17日
公開日（公表日）： 2011年10月06日
要約：

【課題】低温加熱での硬化が可能であり、アルカリ現像性が良好で、かつ高い放射線感度を有すると共に、優れた硬度及び耐溶剤性を有する硬化膜を形成可能な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]ビニロキシアルキルオキセタン及びビニロキシアリールオキセタン化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物、及び[C]エネルギーの付与により酸を発生する化合物を含有する感放射線性組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A]アルカリ可溶性樹脂、 [B]下記式(1)及び(1 ́)でそれぞれ表される化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物、及び [C]エネルギーの付与により酸を発生する化合物 を含有する感放射線性組成物。

IPC (8件)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/06 ,  C08F 20/32 ,  C08F 20/28

FI (9件)：

G03F7/038 503 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/028 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/06 ,  C08F20/32 ,  C08F20/28

Fターム (38件)：

2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H125AC08 ,  2H125AC19 ,  2H125AC21 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AE12P ,  2H125AF16P ,  2H125AF21P ,  2H125AF35P ,  2H125AF46P ,  2H125AF59P ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM73P ,  2H125AN32P ,  2H125BA22P ,  2H125CA12 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC12 ,  4J100AJ02P ,  4J100AL08Q ,  4J100BC53Q ,  4J100BC54Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38