特許

J-GLOBAL ID：201103050782805968

ダイシング装置におけるワーク切断方法

発明者： 長田 正照 ,  東 正幸 ,  下田 浩史 ,  フェリックス・コーエン
出願人/特許権者： 株式会社東京精密 ,  クリック アンド ソファ インベストメンツ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-152183
公開番号（公開出願番号）：特開2000-003888
特許番号：特許第4019159号
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 2枚のブレードをY軸方向に対向配置すると共に2枚のブレードの間隔をワークの切断線の全ピッチ分に対応する間隔に設定した後、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させて前記2枚のブレードで前記ワークの両端の切断線を2本同時に切断し、 前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードのうち一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させて次の切断線を2本同時に切断し、 この切断動作を複数回繰り返して複数本の切断線を切断した後、残りの複数本の切断線において、一方のブレードを他方のブレードに向けて切断線の1ピッチ分だけY軸方向に移動させると共に、他方のブレードを一方のブレードに向けてY方向に移動させて2枚のブレードの間隔が残りの複数の切断線の全ピッチの半分に対応する間隔になるように2枚のブレードをY軸方向に対向配置し、該2枚のブレードとワークとをX軸方向に相対的に移動させながら、2枚のブレードで前記残りの切断線を2本同時に切断し、 前記2本の切断線の切断終了後に、前記2枚のブレードをY軸の同一方向に切断線の1ピッチ分だけ移動させて次の切断線を2本同時に切断し、 この切断動作を繰り返して残りの切断線を切断することを特徴とするダイシング装置におけるワーク切断方法。

IPC (1件)：

H01L 21/301 ( 200 6.01)

FI (1件)：

H01L 21/78 F

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 精密切削装置及び切削方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-176935   出願人：株式会社ディスコ
• 精密切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-232183   出願人：株式会社ディスコ