特許

J-GLOBAL ID：201103050864165096

変位量検出装置

発明者： 能瀬 博康 ,  川瀬 俊光 ,  宮▲崎▼ 俊彦 ,  小口 高弘 ,  山野 明彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-132836
公開番号（公開出願番号）：特開平2-311709
特許番号：特許第2686651号
出願日： 1989年05月29日
公開日（公表日）： 1990年12月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】第1の物体に固定された導電性の二次元表面を有する基準物と、その二次元表面に先端を近づけて第2の物体上に配置された導電性の探針と、この探針を基準物の二次元表面に沿って相対的に二次元的に移動させる探針移動手段と、基準物と探針との間に電圧を印加してトンネル電流を生じさせる電源手段と、これにより生ずるトンネル電流信号を検出する信号検出手段と、探針移動手段による移動に際して信号検出手段により検出されるトンネル電流に基づき基準物の二次元表面像のデータを得る手段と、これによって異なる時期に得られた2つの二次元表面像のデータに基づいてその間に生じた第1および第2の物体間の相対変位量を検出する手段とを具備し、前記基準物として導電性結晶の二次元の原子格子も用いたことを特徴とする変位量検出装置。

IPC (4件)：

G01D 5/245 ,  G01B 7/00 ,  G01D 5/12 ,  G01D 5/14

FI (4件)：

G01D 5/245 A ,  G01B 7/00 Q ,  G01D 5/12 D ,  G01D 5/14 A