第13族金属窒化物結晶の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-103783
公開番号（公開出願番号）：特開2011-230966
出願日： 2010年04月28日
公開日（公表日）： 2011年11月17日
要約：

【課題】種結晶上での結晶成長速度を大幅に向上させることができ、かつ長時間継続して結晶成長を行うことができる第13族金属窒化物結晶の製造方法を提供する。【解決手段】原料101を溶媒102に溶解して溶液102または融液を作成する工程、溶液102または融液を攪拌する工程、及び溶液102または融液中で第13族金属窒化物結晶の成長を行なう工程、を備える第13族金属窒化物結晶の製造方法であって、溶液102または融液を攪拌する工程において、攪拌により溶液102または融液に投入される動力が0.02W/m3以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

原料を溶媒に溶解して溶液または融液を作成する工程、前記溶液または融液を攪拌する工程、及び前記溶液または融液中で第13族金属窒化物結晶の成長を行なう工程、を備える第13族金属窒化物結晶の製造方法であって、前記溶液または融液を攪拌する工程において、攪拌により前記溶液または融液に投入される動力が0.02W/m3以上であることを特徴とする、第13族金属窒化物結晶の製造方法。

IPC (3件)：

C30B 29/38 , C30B 19/10 , H01L 21/208

FI (3件)：

C30B29/38 D , C30B19/10 , H01L21/208 D

Fターム (30件)：

4G077AA02 , 4G077BE15 , 4G077CG01 , 4G077CG06 , 4G077EC01 , 4G077EC08 , 4G077ED01 , 4G077EG05 , 4G077EG12 , 4G077HA02 , 4G077HA06 , 4G077HA12 , 4G077QA01 , 4G077QA12 , 4G077QA29 , 4G077QA54 , 4G077QA71 , 5F053AA03 , 5F053AA13 , 5F053AA19 , 5F053BB08 , 5F053DD18 , 5F053DD20 , 5F053FF04 , 5F053GG01 , 5F053HH04 , 5F053LL02 , 5F053LL03 , 5F053RR05 , 5F053RR13

前のページに戻る