特許

J-GLOBAL ID：201103051324539775

ポジ型感光性樹脂組成物、パタ-ンの製造法および電子部品

発明者： 山崎 範幸 ,  布村 昌隆 ,  安斎 隆徳
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (3件)： 酒井 宏明 ,  高田 幸彦 ,  竹ノ内 勝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361263
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174996
特許番号：特許第4250841号
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】(A)分子鎖の少なくとも片末端にフェノール性水酸基を有する芳香環を有するポリアミド誘導体及び(B)光により酸を発生する化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  G03F 7/40 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G03F 7/023 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R