特許

J-GLOBAL ID：201103051396640390

有機金属化学蒸着用有機銅化合物及びこれを含む銅薄膜形成用溶液原料並びにこれから作られた銅薄膜

発明者： 齋 篤 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288066
公開番号（公開出願番号）：特開2001-114789
特許番号：特許第4102954号
出願日： 1999年10月08日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】次の式(1)で示される銅+1(アリルアルコキシシラン)(ヘキサフルオロアセチルアセトン)であって、 R1、R2及びR3がメチル基、エチル基、プロピル基及びブチル基からなる群より選ばれたアルキル基であることを特徴とする有機金属化学蒸着用有機銅化合物。

IPC (3件)：

C07F 7/18 ( 200 6.01) ,  C23C 16/18 ( 200 6.01) ,  H01L 21/285 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C07F 7/18 C ,  C23C 16/18 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/285 301